1. Geïntegreerd ontwerp van optische metallografische microscoop en atoomkrachtmicroscoop, krachtige functies
2. Het heeft zowel optische microscoop als atoomkrachtmicroscoop beeldvormingsfuncties, die beide tegelijkertijd kunnen werken zonder elkaar te beïnvloeden
3. Tegelijkertijd heeft het de functies van optische tweedimensionale meting en driedimensionale meting van de atomaire krachtmicroscoop
4. De laserdetectiekop en de monsterscanfase zijn geïntegreerd, de structuur is zeer stabiel en de anti-interferentie is sterk
5. Precisie-sonde-positioneringsapparaat, aanpassing van de uitlijning van de laserspot is heel eenvoudig
6. Het enkelassige aandrijfmonster nadert de sonde automatisch verticaal, zodat de punt van de naald loodrecht op het monster wordt gescand
7. De intelligente naaldvoedingsmethode van de motorgestuurde onder druk staande piëzo-elektrische keramische automatische detectie beschermt de sonde en het monster
8. Optisch positioneringssysteem met ultrahoge vergroting om een nauwkeurige positionering van het scangebied van de sonde en het monster te bereiken
9. Geïntegreerde scanner niet-lineaire correctie gebruikerseditor, nanometerkarakterisering en meetnauwkeurigheid beter dan 98%
Specificaties:
| Bedrijfsmodus | aanraakmodus, tikmodus |
| Optionele modus | Wrijving/zijwaartse kracht, amplitude/fase, magnetische/elektrostatische kracht |
| kracht spectrum curve | FZ-krachtcurve, RMS-Z-curve |
| XY-scanbereik | 50*50um, optioneel 20*20um, 100*100um |
| Z-scanbereik | 5um, optioneel 2um, 10um |
| Scanresolutie | Horizontaal 0,2 nm, verticaal 0,05 nm |
| Steekproefgrootte | Φ≤68mm, H≤20mm |
| Voorbeeld etappereizen | 25*25mm |
| Optisch oculair | 10X |
| Optisch objectief | 5X/10X/20X/50X Plan apochromatische doelstellingen |
| Verlichting methode | LE Kohler-verlichtingssysteem |
| Optische scherpstelling | Ruwe handmatige scherpstelling |
| Camera | 5MP CMOS-sensor |
| weergave | 10,1 inch flatpanel display met grafiekgerelateerde meetfunctie |
| Scan snelheid | 0,6Hz-30Hz |
| Scan hoek | 0-360° |
| Bedrijfsomgeving | Windows XP/7/8/10 besturingssysteem |
| Communicatie-interface | USB2.0/3.0 |
