1. De laserdetectiekop en de monsterscanfase zijn geïntegreerd, de structuur is zeer stabiel en de anti-interferentie is sterk
2. Precisie-sonde-positioneringsapparaat, aanpassing van de uitlijning van de laserspot is heel eenvoudig
3. Eenassig aandrijfmonster nadert de sonde automatisch verticaal, zodat de naaldpunt loodrecht op de monsterscan staat
4. De intelligente naaldvoedingsmethode van motorgestuurde onder druk staande piëzo-elektrische keramische automatische detectie beschermt de sonde en het monster
5. Automatische optische positionering, geen noodzaak om te focussen, real-time observatie en positionering van het scangebied van de sonde
6.Spring schokbestendige methode, eenvoudig en praktisch, goed schokbestendig effect
7.Metal afgeschermde geluiddichte doos, ingebouwde uiterst nauwkeurige temperatuur- en vochtigheidssensor, real-time monitoring van de werkomgeving
8. Geïntegreerde scanner niet-lineaire correctie gebruikerseditor, nanometerkarakterisering en meetnauwkeurigheid beter dan 98%
| Bedrijfsmodus | aanraakmodus, tikmodus |
| Optionele modus | Wrijving/zijwaartse kracht, amplitude/fase, magnetische/elektrostatische kracht |
| kracht spectrum curve | FZ-krachtcurve, RMS-Z-curve |
| XY-scanbereik | 20*20um, facultatieve 50*50um, 100*100um |
| Z-scanbereik | 2,5um, optioneel 5um, 10um |
| Scanresolutie | Horizontaal 0,2 nm, verticaal 0,05 nm |
| Steekproefgrootte | Φ≤90mm, H≤20mm |
| Voorbeeld etappereizen | 15*15mm |
| Optische waarneming | 4X optische objectieflens / resolutie van 2,5um |
| Scan snelheid | 0,6Hz-30Hz |
| Scan hoek | 0-360° |
| Bedrijfsomgeving | Windows XP/7/8/10 besturingssysteem |
| Communicatie-interface | USB2.0/3.0 |
| Schokabsorberend ontwerp | Veergeveerde/metalen afgeschermde doos |
