1.De laserdetectiekop en de monsterscanfase zijn geïntegreerd, de structuur is zeer stabiel en de anti-interferentie is sterk
2. Positioneringsinrichting van de opdrachtsonde, de aanpassing van de laserspotuitlijning is zeer eenvoudig
3. Single-Axis Drive-monster benadert de sonde automatisch verticaal, zodat de naaldpunt loodrecht staat op de monsterscan
4.De intelligente naaldvoedingsmethode van motorgestuurde piëzo-elektrische automatische detectie van onder druk geregistreerde piëzo-elektrische detectie beschermt de sonde en het monster
5.Automatische optische positionering, geen noodzaak om zich te concentreren, realtime observatie en positionering van het sondemonsterscangebied
6. Spring Suspension Shockproof -methode, eenvoudig en praktisch, goed schokbestendig effect
7.Metal afgeschermde geluiddichte doos, ingebouwde hoog-precisietemperatuur en vochtigheidssensor, realtime monitoring van de werkomgeving
8. Integrated scanner Niet -lineaire correctie Gebruikerseditor, Nanometer karakterisering en meetnauwkeurigheid beter dan 98%
Werkmodus | aanraakmodus, tik op de modus |
Optionele modus | Wrijving/laterale kracht, amplitude/fase, magnetische/elektrostatische kracht |
krachtspectrumcurve | FZ Force Curve, RMS-Z-curve |
XY Scan Range | 20*20um, optioneel 50*50um, 100*100um |
Z scanbereik | 2.5UM, optioneel 5um, 10um |
Scanresolutie | Horizontaal 0,2 nm, verticaal 0,05 nm |
Steekproefgrootte | Φ≤90mm, H≤20mm |
Voorbeeldstadium reizen | 15*15 mm |
Optische observatie | 4x optische objectieve lens/2.5um -resolutie |
Scansnelheid | 0.6Hz-30Hz |
Scanhoek | 0-360 ° |
Werkomgeving | Windows XP/7/8/10 besturingssysteem |
Communicatie -interface | USB2.0/3.0 |
Schok-absorberend ontwerp | Spring gesuspendeerd/metalen afgeschermde doos |