Sollicitatie
All-in-één ontwerp, slimme structuur en vorm. SCAN-kop en monsterfase zijn samen ontworpen, sterke anti-vibratieprestaties. Precisie laserdetectie en sonde-uitlijningsapparaat maken laseraanpassing eenvoudig en gemakkelijk. AANVAAR Servomotor om de tip van het monster na te besturen. of automatisch, om de positionering van precisiescansoppervlak te realiseren. Positionering van hoge nauwkeurigheid en een groot bereikmonsteroverdrachtapparaat toestaan om elk interessant gebied van monster te scannen; verschillende soorten scanner voldoen aan de vereisten van verschillende klanten in nauwkeurigheid en scangrootte; optisch observatiesysteem voor tipcontrole en voorbeeld Positionering. CCD Observing System voor realtime monstergebied Observing en -positie; gebruik servomotor om CCD Auto-focuserend elektronisch systeem te bereiken is ontworpen als modulair en gemakkelijk voor onderhoud en ontwikkeling. Integrated met veel werkmodi besturingselektronica voor verdere ontwikkeling.
Belangrijke functies
1. Scanthoofd en monsterfase zijn samen ontworpen, sterke anti-vibratieprestaties
2. Precisie laserdetectie en sonde -uitlijningsapparaat maken laseraanpassing eenvoudig en eenvoudig;
3. Servomotor aanpassen om het monster de tip handmatig of automatisch nader te stimuleren, om de positionering van precisiescangebied te realiseren.
4. Zeer nauwkeurigheid en groot bereikmonsteroverdrachtsapparaat laten elk interessant gebied van monster scannen;
5. Optisch observatiesysteem voor tipcontrole en monsterpositionering.
6. Elektronisch systeem is ontworpen als modulair en gemakkelijk voor onderhoud en verdere ontwikkeling.
7. Spring overnemen voor trillingsisolatie, eenvoudige en goede prestaties.
Specificatie
Werking | Contactmodus, wrijvingsmodus, | Scanhoek | Willekeurig |
Steekproefgrootte | Ø≤90mm, H≤20mm | Monsterbeweging | 0 ~ 20 mm |
Max. scannen | X/Y: 20μm, Z: 2μm | Pulsbreedte van het naderen van motor | 10 ± 2ms |
Oplossing | X/y: 0,2 nm, z: 0,05 nm | Optisch systeem | Vergroting: 4x, |
Scannelheid | 0.6Hz ~ 4,34Hz | Datapunten | 256 × 256,512 × 512 |
Het scannen | XY: 18-bit d/a, z: 16-bit d/a | Feedbacktype | DSP digitale feedback |
Gegevensbemonstering | Eén 14-bit A/D en dubbele 16-bit A/D multiple-channel tegelijkertijd | ||
PC -verbinding | USB2.0 | Feedback -bemonsteringssnelheid | 64.0 kHz |
Ramen | Compatibel met Windows 98/2000/XP/7/8 |
Standaard
GB/T 2985-1991
Echte foto's